投资界（ID：pedaily2012）12月5日音信，南京埃米仪器科技有限公司（下简称：埃米仪器）完成数千万元Pre-A轮融资，博将陋习律投。本轮融资将用于进一步普及先进半导体制程用的高精密量测设备的国产替代能力，丰富家具种类，加大阛阓开拓力度能力。

　　埃米仪器成就于2022年，公司成就以来一直引颈国内高精密 3D 量测设备的国产化，攻克中枢时代。家具聚焦于纳米/亚纳米级三维结构的高精密高速量/检测装备。家具主要诈骗于芯片制程中的微结构量测和劣势检测，贬责权衡领域的卡脖子时代。

　　截止现在，埃米仪器已推出在线工业级原子力显微镜量测设备APEX-X1（全自动机台）、科研级原子力显微镜量测设备APEX-1000 （半自动机台）、高速光学扫描概述仪UltraView-1000、UltraView-2000等。将来将捏续推出搀杂量测设备、高通量原子力显微镜等设备。其在线工业级原子力显微镜APEX-X1已完成某芯片头部企业的家具厚爱请托。

　　时代方面，埃米仪器通过肯求专利构筑时代壁垒：现在公司已取得专利授权20余项，权衡专利障翳原子力显微镜和光学量测设备，波及光电器件、精密机械、定位系统、电气狡计等。

　　埃米仪器首创东说念主杨见飞博士曾在海外顶尖半导体设备公司负责开发先进封装和量测设备核默算法开发和架构狡计，制定设备算法道路图。现时，埃米仪器领有一支以国度级东说念主才为主的研发中枢团队，现在已与南京大学、山东大学、南智光电筹办院等国表里科研院所、机构开采密切协作权衡。

　　博将成本该神情投资负责东说念主陆元昊示意，量测设备将来将与光刻设备并行发展，发达至关蹙迫的作用，而原子力显微镜行动精度最高的量测设备开云体育，在先进制程中正在成为量检测主力设备。埃米仪器仅成就2年时辰便得胜研发出洋内首台在线工业级原子力显微镜并已竣事在某头部芯片客户请托。同期，公司通过鼓动高通量AFM、搀杂量测等形势弥补传统AFM机台在量检测速率的截止，将大大拓宽传统原子力显微镜的诈骗领域。咱们坚硬看好公司的发展，将来也将在多方面捏续扶植公司。